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Compañía: BeiJing TORCH Co., Ltd.
Dirección: distrito de Tongzhou de Beijing en el Central Valley Parque Científico y Tecnológico en el este de U Jingsheng Sur la calle Cuarta, 15 12I planta
Código Postal: 101102
Tel: 8610-60509015
Fax: 8610-51662451-8001
Página web del producto: www.torch.cc
E-mail: office@torch.cc

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Microscopio de control de chips TG2U

Cantidad:
La litografía TG2U se utiliza en LSI, sensores, componentes de ondas superficiales, burbujas magnéticas, microondas, CCD, etc.

Introducción】:
La litografía TG2U se utiliza en LSI, sensores, componentes de ondas superficiales, burbujas magnéticas, microondas, CCD, etc.

Observación】:
Litografía TG2U Parámetro técnico:
1.Tamaño de la plantilla:
a.100×100×2-3 mm;
b.75 × 75 × 2-3 mm:
2.tamaño de silicio: Φ50-Φ75 mm, ancho de línea real 3-4цm;
3.desplazamiento comparativo entre plantilla y silicio:
a.X、Y ≥±2.5mm;
b.θ(rotar)≥±5°;
4. La estación de soporte (silicio) gira los ejes Z: ajuste aproximado 360°, ajuste fino ±5;
5.Rango móvil integrado de la estación de trabajo: X, Y integran Φ75 mm;
6.el espacio entre la estación básica de la bola y la plantilla: 0-7 mm;
7.sistema de exposición: GCQ200W sobre bola de alta presión Hg, longitud de onda de exposición: 300 ~ 436 nm;
8. La energía no es inferior a 407 nm de longitud de onda; 7 mw/cm;
9.desigual está dentro de Φ75mm :±5%:
10.longitud de onda de iluminación: ≈545 nm;
11.tiempo de exposición: O.01 segundos-99.99 minutos;
12.el rango de enfoque de los binoculares: 13 mm;
13.el zoom de binocular:
a.par ocular: 16X;
b.Objetivo de campo plano: 6X, 9X, 15X;
C.alejamiento total: 60X-240X;
14.Presión de contacto al vacío: ≥O.7Kgf;
15.fuente de alimentación:
a.frecuencia: 50 HZ(Z);
b. Voltaje de entrada girado: 190 V-230 V;
c. Consumo de energía: ≤300VA;
16.Dimensión:1000X850X980mm(2 cajas)
17. Peso: ≈200 kg;
(1) suministro de vacío: ≥450 mm Hg;
(2) El dispositivo de estabilidad del suministro de aire está debajo
Agregar: Si el usuario tuviera alguna solicitud especial, por favor contacte con nosotros.

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