¿Cuál es la atmósfera de proceso del sistema de vacío?

En la aplicación del sistema de vacío, el gas extraído no solo incluye los diversos gases generados en el proceso de aplicación, sino que también incluye la atmósfera original y el aire del sistema, etc., entonces, ¿cuál es el total?

1. Algunos gases generados en el proceso del sistema de vacío.

Incluye los gases emitidos por los materiales utilizados en el proceso y los gases introducidos según lo requiera el proceso, así como los gases evaporados del líquido/sólido en el sistema de vacío.El cálculo de la cantidad de gases varía mucho entre los distintos procesos y materiales a tratar.

2. Anteriormente existía gas atmosférico en el sistema de vacío.

En el sistema de vacío, hay una cierta cantidad de componentes de gas atmosférico en la cámara del contenedor de aire directo y en la tubería de vacío, etc. Al comienzo de la extracción, son la carga de gas principal del sistema de vacío y también son los primeros en ser extraído por el sistema.

3. Fuga de gas en el sistema de aire.

Los gases de fuga se refieren a algunos gases que se filtran al sistema de vacío a través de la junta de sellado de vacío y varios canales de fuga.

Para un sistema de vacío dado, la cantidad de gas que se escapa es constante.

Las diferentes aplicaciones de los sistemas de vacío y las diferentes presiones límite también imponen límites estrictos a la cantidad de gas de fuga.

4. Desorción y liberación de gas en la superficie de cada material en el sistema de vacío.

Bajo presión normal, la superficie del material en el sistema de vacío absorberá y disolverá parte del gas.

En el estado de presión negativa, se liberarán nuevamente, la descarga del gas y las propiedades del material, la tecnología de tratamiento y el estado de la superficie del material tienen una gran relación.

5. La atmósfera fuera del sistema de vacío penetra parte del gas dentro del sistema a través del material de la pared de la cámara.

Los gases también se disuelven y permean en sólidos.

Como resultado, la atmósfera impregna el sistema de vacío a través del material.

Este tipo de permeación no se considera en sistemas metálicos generales, pero algunas aplicaciones en sistemas de vacío de vidrio o sistemas metálicos de paredes delgadas pueden requerir la consideración de algunos de los efectos del gas de permeación.

Los cinco aspectos anteriores constituyen la carga total de bombeo del sistema de vacío.

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